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主要从事半导体清洗设备核心部件如空气泵、兆声波发生器组及控制系统的研发、生产与销售

涂胶、显影、清洗、刻蚀等工艺用中空伺服电机

松下驱动器+中空轴电机

涂胶、显影、清洗、刻蚀等工艺用中空伺服电机

多频超声波发生器

3种频率模式

多频超声波发生器

单频超声波发生器

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单频超声波发生器

兆声波发生器 MQ系列

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兆声波发生器 MQ系列

超声单元-发电机 D9500

可变频闪功能 MM 方法(多重调制)

超声单元-发电机 D9500

超声单元-发电机 D9500L

可变频闪功能 MM 方法(多重调制)

超声单元-发电机 D9500L

喷嘴&助推器

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喷嘴&助推器

超声波装置 - 喷嘴

喷嘴频率多样化

超声波装置 - 喷嘴

Megasonic 单元 - 喷嘴 BATH 类型

传感器频率多样化

Megasonic 单元 - 喷嘴 BATH 类型

Megasonic 单元 - 喷嘴 SPOT 类型

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Megasonic 单元 - 喷嘴 SPOT 类型

SSBL-XXA 系列 FSBL-50

适用于清洗，去胶，剥离等芯片工艺

SSBL-XXA 系列 FSBL-50

风囊泵

特殊无金属设计；最高210℃化学品使用

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