产品系列
产品描述
高速中空轴电机的特点
1.松下驱动器+中空轴电机，确保品质长期高效的稳定运行
2.中空轴高速电机结构:额定转速:5000rpm，最大转速6000-8000rpm
3.超快的加速/减速时间:47750R/S2
4.低噪音、低震动、轴端跳动系数低至0.01mm
5.轴孔采用真空空心轴设计，轴端独特的设计，确保chunk运行平稳
6.电机功率:750/1000W，采用水冷却系统设计，符合6时、8时、12时晶圆的要求
7.可以针对不同用户可以为客户进行轴端定制化设计
高速中空轴伺服产品规格及应用领域
1.750W/1000W-5000，6000rpm
2.应用领域(高端机型)
3.8寸、12寸半导体设备
4.涂胶、显影、清洗、刻蚀等工艺
5.最大加速度可以达到47750R/S2瞬时加速
高速中空电机的应用范围:
1、曝光显影设备 (涂胶，显影)光刻加工程序的主要设备及掌控涂层，曝光，显影。
2、清洗、涂胶、显影去膜设备。
3、适用于物理冲洗清洁、颗粒清洗及喷雾工艺。
高速中空轴电机应用方案拓扑图
Spin Motor电机特点
高速电机结构:额定转速:5000rpm，最大转速6000rpm
超快的加速/减速时间:47750R/S2
低噪音、低震动、轴端跳动系数低
最大限度的提高中空轴的加工精度，符合极低的机械公差加工
采用真空空心轴设计，轴端独特的设计，确保chunk运行平稳
采用水冷却系统设计:750/1000W
可以为客户进行定制化设计专用电机
应用:高端涂胶和清洗
要求: 高速旋转和真空吸附
应用规格要求:
1.兰法:80mm ~ 100mm flange
2.速度范围:5,000rpm~6,000rpm，最大加速度:47750
3.额定转矩:0.64Nm~2.50Nm(功率0.3-0.7KW)
4.轴 定 制:电机轴长度或者密封机构做定制
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